ピュアロンの発想-それは流れる力

IGS(集積)

IGS(集積)

各種集積化ガスシステム用のガスフィルターと圧力センサーです。

  • FI/SIシリーズ:各種集積化ガスパネル用ガスフィルターで、高濾過精度と耐蝕性で定評のセラミックフィルターとオールメタルフィルターをラインナップ(濾過精度 0.003μm 推奨流量 数LPM~120LPM)
  • PCシリーズ:高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーで、ゲージ圧・絶対圧ともに幅広いレンジで測定可能(出力形態:0~100mV、0~50mV 、4~20mA、0~5V)