ピュアロンの発想-それは流れる力

オールメタルガスフィルター UCSシリーズ *UCSシリーズは2008年11月に廃版になりました。

ピュアロンオールメタルガスフィルター「UCSシリーズ」は、コンパクトな構造、高い濾過精度、しかも放出ガス特性に極めて優れたULSI製造用高性能ガスフィルターです。

  • 全ての材質にSUS316Lステンレススティールを採用
  • アウトガスフリー
  • 高濾過精度0.01μm
  • 高耐熱性 460℃
  • 10ℓ/minの小流量から80ℓ/minまでの幅広いモデルを用意
  • 全数ベーキング、特殊洗浄処理済み
  • 標準仕様:ベーキング、純水特殊洗浄、メタルキャップ付
濾過精度 0.01μm
推奨流量10~80ℓ/min(各モデル別:流量特性曲線参照)
設計圧力20.6MPa(2,987PSIG) at20℃ 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。
常用圧力1MPa(145PSIG)未満
最大許容差圧15MPa(2,175PSIG) at20℃
最高使用温度460℃
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)エレメント:SUS316L 内面粗度:Rmax0.7μm以下
継手1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、その他

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形式A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCS-CB-02VR15.5 25.0 Hex.171/4 φ27 65.0
UCS-CB-02SW10.025.0Hex.171/4φ27 54.0
UCS-SB-02VR 19.5 53.0 Hex.27 3/8 φ30 84.0
UCS-SB-02SW 12.0 53.0 Hex.273/8 φ30 73.0
UCS-MB-02VR15.5 96.0 Hex.271/4φ30 127.0
UCS-MB-02SW 10.0 96.0 Hex.271/4φ30 116.0

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