ピュアロンの発想-それは流れる力

高濾過精度オールメタルガスフィルター UCS-Mシリーズ

  • 全ての材質にSUS316Lステンレススティールを採用
  • 高清浄度:全製品出荷前に内部特殊洗浄を施し、高純度N2を通ガスしながら高温ベーキング処理を行っております。
  • 高流量・高差圧下においても0.003μm以上の粒子を高い効率で除去致します。
  • 高耐熱性460℃
  • 10ℓ/min程度の少流量から250ℓ/min程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
  • 低圧力損失:従来のメタルフィルターと比較して、圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
濾過精度0.003μm
推奨流量10M…15ℓ/min、13M…60ℓ/min、19M…120ℓ/min、24M…250ℓ/min
設計圧力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。
常用圧力1MPa(145PSIG)未満
最大許容差圧15MPa(2,175PSIG) at20℃
最高使用温度460℃(不活性ガス)
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) エレメント:SUS316L 内面粗度:Rmax0.5μm以下
標準仕様ベーキング、純水特殊洗浄(フィルター内部)
継手1/4"、3/8"、1/2" ガスケットシール、コンプレッションシール、その他

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形式A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCS-10M(13M)-02VR15.5 53.0 Hex.27 1/4 φ30.0 84.0
UCS-10M(13M)-02SW10.053.0 Hex.27 1/4φ30.0 73.0
UCS-19M-02VR 19.5 96.0 Hex.30 3/8 φ32.5 127.0
UCS-19M-02SW 12.0 96.0 Hex.30 3/8 φ32.5 116.0
UCS-24M-02VR15.5 98.0 Hex.37 1/4 φ41.0 129.0
UCS-24M-02SW 10.0 98.0 Hex.37 1/4φ41.0 118.0

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