ピュアロンの発想-それは流れる力

小型・大流量オールメタルガスフィルター UCS-24MーLシリーズ


  • 小型・大流量:
    一般的なインラインガスフィルタのサイズのまま、大流量濾過が可能です。
  • 高耐熱性:
    全ての材質にSUS316L ステンレススチールを採用し、460℃までの許容温度を有します。
  • 高い粒子除去性能:
    0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。
  • 高清浄度:
    全製品出荷前に内部特殊洗浄を施し、高純度N2を通ガスしながら高温ベーキング処理を行っております。(真空二重梱包)

半導体製造装置からPV用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。

濾過精度 0.003μm
設計圧力 17MPa (2,465PSIG) at 20℃
常用圧力 1MPa 未満
(日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。)
最大許容差圧 15MPa(2,175PSIG) at20℃
最高許容温度 460℃(不活性ガス)
外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)
エレメント:SUS316L
内面粗度:Rmax0.5μm以下
標準仕様 ベーキング、純水特殊洗浄(フィルター内部)
継手 1/4"、3/8"、1/2" ガスケットシール継手、その他

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