ピュアロンの発想-それは流れる力

低圧力損失インラインセラミックガスフィルター UCFシリーズ

  • 低圧力損失
    窒素ガス10 ℓ/minをフィルターIN側圧力0.1MPaで流した時のOUT側圧力損失⊿Pは、0.01MPaと極めて低い圧力を実現しました。
  • 高濾過精度
    0.01μmパーティクル除粒子性能99.9999999999%。サブミクロンULSI製造での歩留まりの大幅な向上に貢献します。
濾過精度 0.01μm
推奨流量 10~160ℓ/min(各モデル別:流量特性曲線参照)
設計圧力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び 使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。
常用圧力1MPa(145PSIG)未満
最大許容差圧 3MPa (435PSIG) at20℃
最高連続使用温度120℃
ベーキング温度200℃
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L 内面粗度:Rmax×0.7μm以下 エレメント:アルミナセラミックス(Al2O3) シール:PTFE
継手 1/4"、3/8"、1/2" ガスケットシール、コンプレッションシール、その他

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形式A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCF-CB-02VR・P15.5 40.0 Hex.301/4 φ32.5 71.0
UCF-CB-02SW・P 10.0 40.0Hex.301/4φ32.5 60.0
UCF-SB-02VR・P15.5 53.0Hex.301/4φ32.5 84.0
UCF-SB-02SW・P10.0 53.0Hex.301/4φ32.5 73.0
UCF-LB-02VR・P15.5 96.0Hex.301/4φ32.5 127.0
UCF-LB-02SW・P10.0 96.0Hex.301/4φ32.5 116.0

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