ピュアロンの発想-それは流れる力

低圧力損失メタルガスフィルター UCDシリーズ

  • フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく、高耐熱性を発揮。
  • 窒素ガス(N2)をフィルターIN側圧力 0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△ 0.05MPaで 90SLMの流量を実現。
  • 定常流・脈動下において濾過精度 0.003μm をCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留りの大幅な向上実現。
濾過精度0.003μm
推奨流量 10~100ℓ/min(各モデル別:流量特性曲線参照)
最高使用圧力0.98MPa(142PSIG) at20℃
最大許容差圧0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
最高使用温度460℃
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)エレメント:SUS316L 内面粗度:Rmax0.7μm以下
継手1/4"ガスケットシール、その他

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