ピュアロンの発想-それは流れる力

小型・大流量PTFEガスフィルター Mega Flowシリーズ

  • 小型・大流量
    一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。
  • 高い粒子除去性能
    0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。
  • 優れた耐食性
    フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。
  • ※半導体製造装置からPV用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。

濾過精度 0.003μm
常用圧力1MPa未満
最大許容正差圧0.7MPa(20℃)
最大許容逆差圧0.3MPa(20℃)
最高許容温度120℃(不活性ガス)
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)  内面粗度:Rmax0.5μm以下
フィルターメディア:PTFE  サポート:PFA
継手1/4"、3/8"、1/2"ガスケットシール(標準)、コンプレッションシール、その他

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形式 継手 D(mm) F(mm) H(mm)
STF-MF1-02VR・P 1/4"ガスケットシール(VCR継手相当) Hex.35 φ38 127
STF-MF1-04VR・P 1/2"ガスケットシール(VCR継手相当) Hex.35 φ38 127
STF-MF1-02SW・P 1/4"コンプレッションシール(Swagelok継手相当) Hex.35 φ38 113
STF-MF1-03SW・P 3/8"コンプレッションシール(Swagelok継手相当) Hex.35 φ38 118
STF-MF1-04SW・P 1/2"コンプレッションシール(Swagelok継手相当) Hex.35 φ38 119

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