ピュアロンの発想-それは流れる力

微少流量超小型セラミックガスフィルター SPCシリーズ

  • 超小型・軽量
    SPCシリーズは超小型(Φ21×84mm)、軽量(90g)に設計されております。そのため、取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
  • 高濾過精度
    フィルターエレメントには多層構造のセラミックを使用しているため、高濾過精度です。また、全品出荷時にCNCカウンターにて0.003μmパーティクルのゼロカウント確認後、出荷しております。
  • 低脱ガス特性
    プロセスガスの微少流量化、低ガス圧化により、フィルター内壁からの水分を中心とする脱ガスによる汚染が顕在化してまいります。セラミックフィルターはオールメタルフィルターに比べて水分吸着量が著しく少なく、水分などの脱ガス特性に優れております。
  • デッドスペースフリー
    フィルター内部のガス滞留部をできる限り抑えた構造のため、ガス置換性に優れております。
濾過精度 0.003μm
推奨流量 10ℓ/min
設計圧力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び 使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。
常用圧力1MPa(145PSIG)未満
最大許容差圧 3MPa (435PSIG) at20℃
最高連続使用温度120℃
ベーキング温度200℃
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.7μm以下 エレメント:アルミナセラミックス(Al2O3) シール:PTFE
継手1/4"ガスケットシール、コンプレッションシール、その他

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