ピュアロンの発想-それは流れる力

低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター PGFLシリーズ

  • 高濾過精度・低圧力損失
    当社従来品のPGFシリーズの高濾過性能をそのままに、低圧力損失を実現致しました。従来のPGFシリーズとまったく同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
  • エッチングや薄膜形成時に不可欠な高選択性
    高選択性の追及にとって、極めて重要なポイントになるのが、水や酸素といった不純物の除去の問題です。この不純物の除去を確実に行うためには、何よりも高温状態でのベーキングが不可欠です。そうした観点から開発されたセラミックフィルタでは、200℃の高温ベーキングが行えます。
  • メンテナンス・フリーによるコストダウン
    パーティクル粒径の大きさにより段階的に濾過できる三層構造のため目詰まりが殆どなく、また耐久性/耐熱性に優れた特徴を持つセラミックフィルタは、従来のフィルタに比べ、使用時のトラブルもありません。従って、生産ラインの一時停止による経済的損失もなく、長期間に渡ってコストの低減化が図れます。
濾過精度 0.003μm(但し、純水濾過時は0.1μm)
推奨流量20~400ℓ/min(各モデル別:流量特性曲線参照)
設計圧力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。
常用圧力1MPa(145PSIG)未満
最大許容差圧9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
最高連続使用温度120℃
ベーキング温度200℃
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材ハウジング:SUS316L 内面粗度:Rmax0.7μm以下 エレメント:アルミナセラミックス(Al2O3) シール:PTFE
継手1/4"、3/8"、1/2"、3/4" ガスケットシール、コンプレッションシール、その他

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形式A(mm)B(mm)C(mm)D(mm)E(mm)F(mm)
PGFL-2-02VR・PC0715.584.0Hex.241/4φ42.4130.0
PGFL-2-02SW・PC07 10.084.0Hex.241/4φ42.4 119.0
PGFL-2-03VR・PC07 19.0 92.0Hex.24 3/8φ42.4 146.0
PGFL-2-03SW・PC07 12.092.0Hex.243/8φ42.4 131.0
PGFL-3-02VR・PC0715.5 46.0Hex.241/4φ42.4 84.0
PGFL-3-02SW・PC07 10.0 46.0Hex.241/4φ42.4 73.0
PGFL-3-03VR・PC07 19.0 48.4Hex.243/8φ42.4 112.0
PGFL-4-02VR・PC0715.5 229.0Hex.241/4φ42.4 274.0
PGFL-4-03VR・PC0719.0 230.0Hex.243/8φ42.4 284.0

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  • フィルターベーキング:200℃、2Hr
  • メタルキャップ
  • 超大流量500~3,000ℓ/minは別にPGF-11タイプがございます。

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