ピュアロンの発想-それは流れる力

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー PC-601シリーズ

半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイ®を使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーPC-601シリーズを開発致しました。

  • 高耐蝕性
    接ガス部には、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスに対し、従来のステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐蝕性を有する鋼材ハステロイ®を使用し、さらに電解研磨処理をしておりますので、耐蝕性特殊ガスに優れた力を発揮致します。
  • 高精度・高信頼性
    リニアリティ・ヒステリシス・リピータビリティの影響によるベスト・フィット直線から最大偏差は0.25%と高精度で高い信頼性があります。
  • 広い測定範囲
    ゲージ圧 0~172.4KPa(1.75kgf/cm2)から20,684KPa(210.9kgf/cm2)まで、絶対圧 0~2,586torr迄の幅広い圧力レンジを用意しております。
  • 長い製品寿命
    各レンジにおける耐久テストで100万回以上達成済みです。
形式 ゲージ圧※絶対圧
PSI 25G 50G 100G 200G 500G 3000G 15A 25A 50A
圧力レンジ KPa 0~172.4 0~344.7 0~689.5 0~1,378.9 0~3,447.3 0~20,684 0~103.4 0~172.4 0~344.7
kgf/cm2 0~1.76 0~3.52 0~7.03 0~14.06 0~35.16 0~210.9 - - -
torr --- - - - 0~776 0~1,293 0~2,586
精度(% Full Scale) ±0.5% ±0.25% ±0.5%

※ゲージ圧タイプは全て連成対応可能です。

過負荷圧力Full Scale×2
励起(電源)電圧DC 5V(MAX 6V)
保存温度範囲 -20℃~93℃(未通電)
補償温度範囲-1℃~71℃
温度ドリフト±0.05% FS/℃
信号出力100mV(20mV/V) ※25G ・50Gは、50mV(10mV/V)
スパン100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV
オフセット0mV ± 10mV
外部リーク量2×10-11Pa・m3/sec
接ガス(液)部ハステロイ®
継手 1/4" ガスケットシール、コンプレッションシール、その他

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