ピュアロンの発想-それは流れる力

超高純度ガス小型精製器 GP/GPFシリーズ

  • ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大1PPB以下まで除去します。
  • 内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てSUS316Lを標準として使用しております。腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。
  • HBr、HClなどの強腐蝕性特殊ガス中に含まれる水分を、条件により最大100PPB(分析装置の検出限界)以下まで除去します。
  • 小型・軽量モデルGP-05はフィルターサイズ同様の小型タイプ(面間84mm)で、120gと軽量です。
  • ガス種により、350℃から400℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用になれます。
精製能力個々の不純物:最大1PPB以下 出口側不純物合計:最大10PPB以下 (条件による)
材質ハウジング:SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 フィルターメディア:SUS316L 精製剤:メタル・ゲッター、他
流量範囲 0.5LPM~20LPM(モデル/圧力条件によって異なります)
最高使用圧力0.97MPa(140.65PSIG)
使用温度室温又は350~400℃(用途により異なります)
外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
継手1/4"、3/8" ガスケットシール、コンプレッションシール

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形式A(mm)B(mm)C(mm)推奨流量(l/min) 寿命(流量)※
GP-05 84 38 250.1~0.5約1年間(0.2LPMの時)
GP- 1 84 38 380.1~1.0 約1年間(0.5LPMの時)
GP- 2 122 76 380.2~2.0 約1年間(1LPMの時)
GP- 5 160 114 511~5 約1年間(3LPMの時)
GP-10 224 178 512~10 約1年間(5LPMの時)
GP-20 317 272 635~20 約1年間(10LPMの時)

※上記破過は入口(一次側)からの不純物合計が10PPMと仮定した場合の値で、この間再活性処理が必要となります。

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仕様 精製対象ガス 精製不純物精製保証値
不活性ガス He, Ne, Ar, Kr, Xe H2O,O2,CO2 1 PPB以下 (室温にて)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB以下 (加熱時)
出口(二次)側不純物合計 10 PPB以下 ( 8LOGS )
窒素ガス用 N2 H2O,O2,CO2 1 PPB以下 (室温にて)
H2O,O2,CO,CO2,THC 1 PPB以下 (加熱時)
水素ガス用 H2,Ar/H2,N2/H2 H2O,O2,CO2 1 PPB以下(室温にて)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB以下 (加熱時)
ハイドライドガス用
フロンガス用
SiH4,Si2H6,SiH2Cl2,AsH3,PH3,NH3,B2H6,H2S
GeH4,Ge2H6,CH4,CF4,CCl4,SF6
H2O,O2,CO2 10 PPB以下(室温にて)
酸素ガス用
(酸素ガスピューリファイヤーにはシングルタイプ、 デュアルタイプの2種類があります。)
O2,Air シングル H2O 100 PPB以下(室温にて)
CO2 10 PPB以下(室温にて)
デュアル H2O 100 PPB以下(加熱時)
H2,CO,CO2 10 PPB以下(加熱時)
腐蝕性ガス用 HBr, HCl, BCl3,BF3,Cl2 H2O 100 PPB 以下(室温にて)

※腐蝕性ガスの純度分析にはFT-IRを使用しました。(検出限界100PPB)
※上記保証値は、入口側不純物合計 10 PPM 以下の場合

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