ピュアロンの発想-それは流れる力

ベントフィルター FBAシリーズ


半導体製造装置に使用される、ロードロック室(Load lockchamber)や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、 真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻き上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureron のベント用フィルターを使用することで、そのスローベントが不要となり、スループットが大幅に向上します。

  • 全ての材質がSUS316L で構成されています。
  • 耐熱性に優れています。
  • 高い濾過精度を有します。
  • 形状がコップ型のため先端からのガス噴出が出来ます。
濾過精度 0.003μm
常用圧力1MPa 未満
最高使用温度400℃
ベーキング温度400℃
接ガス部材質SUS316L
継手1/4"チューブ、3/4"チューブ、1/4”ガスケットシール、1/2"ガスケットシール 各種フランジ対応※

※その他の継ぎ手形状等につきましては、当社または代理店までお問合せ下さい。
VCR®はSwagelok 社の登録商標です。

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特性曲線中の縦軸【Chamber 内圧力(MPa G)】0MPa の値から、水平 に移動し、0.3MPa の曲線と交わった箇所の横軸【経過時間(SEC)】の 値を読み取ります(70 sec)。

【流量特性曲線の見方 FBA-5シリーズ Chamber容量800Lの場合】
‐例‐
下記条件の場合、破壊特性曲線より、真空から大気圧となる時間は約70秒となります。

  • 一次圧力: 0.3MPa
  • 二次側圧力: 真空
  • Chamber 容量: 800L
  • FBA-5 の使用本数: 1 本

各圧力に対する所要時間は、特性曲線より以下の値となります。

1次圧力0.1MPa0.2MPa0.3MPa0.4MPa0.5MPa0.6MPa
真空から大気圧になるまでの所要時間168sec100sec70sec55sec45sec38sec
※流量特性曲線はChamber容量により変わります。特性曲線については、弊社または代理店までお問い合わせください。

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※以下は一例となります。ご要望に応じて様々な形状・仕様にて製作承りますのでご相談ください。

FBA-4-02VR
FBA-5-04VR
FBA-5-02ST

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