IGS(직접)
IGS(직접)
각종 직접화 가스 시스템용 ヨウ가스 필터와 압력 센스입니다。
- FIX/SIX시리즈：고여과정도로 정평이 나있는 세라믹 엘리먼트 타입(0.00015μm)과 금속 엘리먼트 타입(0.0015μm)을 다양 갖추고 있습니다.
- FI/SI시리즈：각종 직접화 가스 패널용 가스 필터로、고여과정도와 내부식성으로 정평된 세라믹 필터와 모든 메탈 필터를 라인 업(여과정도 0.003μm 추천유량 수LPM～120LPM）
- PC시리즈：고정도・고내식성을 특징으로 하는 각종 직접화 가스 시스템용 압력 센스로、게이지 압・절대압 같이システムヨウ 폭 넓은 범위에서 측정이 가능(출력 형태：0～100mV、0～50mV 、4～20mA、0～5V）
