PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

가스 필터

세라믹 가스 필터

높은 여과 정밀도・높은 내식성을 특징으로 하는 세라믹 필터로、가스 배관계통 내부의 파티클 제거가 높고、동시에 선택의 폭이 넓습니다。(200℃의 고온 베이킹을 가능하케 하고、H20농도를 5ppb이하로 저감)

  • PGF시리즈: Honeycomb구조 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 10~200L/min
  • PGFL시리즈: Honeycomb구조 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천유량 20~400L/min
  • UCF시리즈: 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.01μm 추천유량 10~160L/min
  • SPC시리즈: 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천유량0L/min
  • UCH시리즈: 여과 정밀도 0.003μ 추천 유량 40~200L/min
  • PGF-11시리즈: 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 500~3,000L/min

메탈 가스 필터

요소를 포함 모든 재질에 SUS316L을 채용하여、컴팩트 설계・높은 여과 정밀도, 높은 내열성(460℃)을 실현한 ULSI 제조용 고성능 가스 필터입니다。

  • UCD시리즈: Disc 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 10~100L/min
  • RGF시리즈: 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.1~10μm 추천 유량40~60L/min
  • UCS시리즈: 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.01μm 추천 유량 10~80L/min
    *UCS 시리즈는 2008년11월에 폐판 되었습니다。
  • UCS-M시리즈: 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량15~250L/min

하스테로이 가스 필터

요소를 포함 모든 재질에 하스텔로이®를 채택하여、압력 손실이 매우 적고 컴팩트한 사이즈로 높은 유량의 가스 처리가 가능합니다。

PTFE가스 필터

요소에 PTFE막을 적용한 높은 내식성 인라인 가스 필터입니다。PTFE재질의 2층막으로 높은 여과 정밀도와 저압력 손실을 실현하여、사용 지점까지 가스의 순도를 떨어뜨리지 않고 제공 가능 합니다。

  • TF시리즈: 여과 정밀도 0.01μm 추천 유량 40~300L/min
    *TF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
  • STF시리즈: 여과 정밀도0.003μm 권장유량40~300L/min
    *STF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
  • STF-3000시리즈: 여과 정밀도0.003μm 권장유량40~150L/min