气体过滤器
陶瓷气体过滤器
具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃の高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）
- PGFLX系列： 蜂窝状构造部件 过滤精度0.0015μm 推荐流量10～200L/min
- UCHX系列： 过滤精度0.0015μm 推荐流量15～250L/min
- PGF系列： 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10～200L/min
- PGFL系列： 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量20～400L/min
- UCF系列： 管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10～160L/min
- SPC系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10L/min
- UCH系列： 过滤精度0.003μ 推荐流量40～200L/min
金属气体过滤器
全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
- UCDX系列： 圆盘状部件 过滤精度0.0015μm 推荐流量10～100L/min
- UCSX-M系列： 管状部件 过滤精度0.0015μm 推荐流量15～250L/min
- UCD系列： 圆盘状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10～100L/min
- RGF系列： 管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15～250L/min
哈司特镍合金气体过滤器
全部采用哈司特镍合金制造，压力损失极低、尺寸紧凑，能够处理高流量气体。
PTFE气体过滤器
采用PTFE膜的高耐腐蚀的内嵌式气体过滤器。具备2层PTFE膜，实现了高过滤性能和低压力损失。
- STFX系列： 过滤精度0.0015μm 推荐流量40～300L/min
- STFX-3000系列： 过滤精度0.0015μm 推荐流量40～150L/min
- TF系列： 过滤精度0.01μm 推荐流量40～300L/min
*TF-4系列于2017年5月停产。 - STF系列： 过滤精度0.003μm 推荐流量40～300L/min
*STF-4系列于2017年5月停产。 - STF-3000系列： 过滤精度0.003μm 推荐流量40～150L/min
