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气体过滤器

陶瓷气体过滤器

具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃の高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下)

  • PGF系列: 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10~200L/min
  • PGFL系列: 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量20~400L/min
  • UCF系列: 管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10~160L/min
  • SPC系列: 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10L/min
  • UCH系列: 过滤精度0.003μ 推荐流量40~200L/min
  • PGF-11系列: 过滤精度0.003μm 推荐流量500~3,000L/min

金属气体过滤器

全部采用SUS316L材质制造,紧凑式设计、高过滤精度、耐高温(460℃)用于ULSI制造的高性能气体过滤器。

  • UCD系列: 圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10~100L/min
  • RGF系列: 管状部件 过滤精度0.1~10μm 推荐流量40~60L/min
  • UCS系列: 管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10~80L/min
    *UCS系列于2008年11月停产。
  • UCS-M系列: 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15~250L/min

哈司特镍合金气体过滤器

全部采用哈司特镍合金制造,压力损失极低、尺寸紧凑,能够处理高流量气体。

PTFE气体过滤器

采用PTFE膜的高耐腐蚀的内嵌式气体过滤器。具备2层PTFE膜,实现了高过滤性能和低压力损失。

  • TF系列: 过滤精度0.01μm 推荐流量40~300L/min
    *TF-4系列于2017年5月停产。
  • STF系列: 过滤精度0.003μm 推荐流量40~300L/min
    *STF-4系列于2017年5月停产。
  • STF-3000系列: 过滤精度0.003μm 推荐流量40~150L/min